第(3/3)页 北方华创的蚀刻机和中微半导体的蚀刻机,并不同一个种类的。 蚀刻指将硅片上未被光刻胶掩蔽的部分通过选择性去掉,从而将预先定义的图形转移到硅片的材料层上的步骤。 而目前的蚀刻设备分为三类,分别是介质蚀刻机、硅蚀刻机、金属蚀刻机,三者占比为48%、47%、5%,介质蚀刻机和硅蚀刻机是市场上主流的蚀刻设备。 中微半导体的蚀刻机属于介质蚀刻机,而北方华创的蚀刻机属于硅蚀刻机和金属蚀刻机。 半个小时之后,一台硅蚀刻机出现在无尘实验室里面。 思维社的工程师推着一台特制的电脑设备,将一条条数据线连接到硅蚀刻机的系统上。 然后从原始母本系统复制导出一个操作系统,又将硅蚀刻机原来的系统复制一份,两个复制体融合在一起,形成专业的硅蚀刻机操作系统。 最后导入硅蚀刻机,将原来的操作系统覆盖了。 不过到了这一步,事情还没有结束,一个操作系统并不是看设计得多么精妙,而是和设备相辅相成。 接下来需要进行半自动适应调整,不断在运行之中,将软件和硬件融为一体。 启动内部网络之后,硅蚀刻机的系统连接到思维社超算中心里面,在庞大的运算力支持下,就可以进行半自动适应调整。 带队工程师转过头说道:“麻烦王总,让你们的技术员操作硅蚀刻机工作,我们需要在运行的过程中调整参数和系统。” “没问题。”王云深连忙挥挥手,让三个技术员上。 这个工作进行了两天时间。 此时这一台工作精度为40~24纳米硅蚀刻机,已经变成一台精度为40~16纳米的硅蚀刻机。 在这个过程中不仅仅修复了大量的漏洞,还有错误参数,更是将设备的精度提升到机器的性能极限,稳定性更是变得坚若磐石。 放下测试报告,王云深和张厚德等人已经惊呆了。 事实上同样的设备,不同的操作软件,是会造成天壤之别的,特别是在精密仪器行业,国内就是吃了这个暗亏。 第(3/3)页