第(1/3)页 一边讲解,韩元一边初步处理着手中的材料。 化学实验室房间内的净洁度不够,在这里只能进行初步处理。 正常情况来说,整套流程都应该是在对应的标准无尘工作间内进行处理的。 但韩元这边没办法,有一部分之前制备出来的仪器太大了,没法搬到无尘工作间去,而初步处理这些材料又必须要用到这些仪器。 好在基础部分对环境的要求并不是很高,特别是他现在使用方式。 顶多后续到无尘工作室后再进行一次提纯处理,这样也是可以的。 正如地球各国专家判断的一样,利用现在的工业设备和条件,按照常理,他根本就弄不出来高精度的‘分布式布拉格反射器’。 这是人类科技目前最顶尖的科学技术之一,是人类发展了一两个世纪的光学应用及结合了无数人科研、劳动力的成果。 但韩元不一样,他不是往上爬科技,而是通过脑海中的知识信息来进行降维打击。 就像斗地主给来了个自摸一条龙一样。 虽然比喻可能有点不恰当,但自然而然的让人怀疑人生这方面是一样的。 光学科技的攀升,或者说任何科技的发展对于一个文明来说,都只能一点一点的向上爬这是毋庸置疑的。 除非这个文明出现了他这样开挂的人,或者说像隔壁的‘陆舟’一样的人。 否则纵然是爱因斯坦和牛顿这样的大佬,也只不过是促进文明高速发展的一份子。 ....... 将手中的‘砷’材料融入配置好溶液后,韩元接着道:“和传统的‘分布式布拉格反射器’制备方式不一样。” “这一次我将采用‘化学气相沉积法’、‘水磨法’、‘电热-离子渗透’等方法结合起来制造‘分布式布拉格反射器’。” “这种方式制备出来的‘分布式布拉格反射器’理论上比传统方式制备出来的‘布拉格反射器’在反射能量损失方面要略微低一些。” “按照比例算的话,如果传统的‘布拉格反射器’反射能量损失在百分之三十左右。” “那么这种化学式制造出来的‘分布式布拉格反射器’的能量反射损失大概在百分之二十左右。” 顿了顿,韩元似乎想起了什么,又补充了一句: “对了,这个反射能量损失能随着镀层薄膜以及反射层的重叠方式、数量以及打磨方式而降低。” “对极紫外光的最低反射能量损失能降低到百分之十左右。” 韩元的话说出口,直播间里面的观众并没有多大感觉,照常嘻嘻哈哈的各种插科打诨。 毕竟百分之三十的损失率降低到百分二十也只是降低了十个点。 即便是降低到百分之十也只有二十个点而已。 再加上韩元也没有说降低了这些损失率能有多重要,所以这一极为重要的信息直接就被绝大部分的观众忽略掉了。 倒是有一些观众在不明觉厉习惯性的刷着牛逼、厉害等话语,不过他们也不知道这到底代表着什么。 但收看直播的各国光学专家就不一样了。 在听到这种新式制备的‘分布式布拉格反射器’能将反射能量降低到百分之十的时候,仿佛脑门上被人拍了一板砖一样,顿时感觉人有点头晕目眩。 且不说最低反射能量损失可以达到百分之十,就是能降低百分之一,都是一个极大的突破啊。 要知道受限于极紫外光的特殊性质,即便是在真空中,它也很容易被包括镜头玻璃内的材料吸收。 所以需要euv光刻机中才需要使用反射镜来代替透镜。 但普通打磨镜面的反射率还不够高,需要复式镜面设计。 也就是可以将多层的反射集中成单一反射的‘布拉格反射器’。 而目前的人类制造出来的‘布拉格反射器’每一次反射极紫外光光源都会损失三成左右的光线能量。 但一台euv光刻机得经过十几面反射镜,才能将极紫外光从光源一路引导到晶圆上。 到最后,能用于雕刻的光源,大概只能剩下不到百分之二的光线。 这也是光源激发器的为什么需要超大功率的原因。 毕竟在传播途径中就损失了绝大部分的光线,到最后刻蚀到晶圆上的光线能级压根就不够。 如果能降低光能反射损失率,哪怕是一个点,对于极紫外光源的强度要求就会下降好几个点。 更别提百分之十甚至是百分之二十的损失率降低了。 特别是华国的光学专家和专门研究光刻机突破的实验室及研究所,一个个的呼吸瞬间都沉重了起来。 第(1/3)页