第(1/3)页 赵烨给这台光刻机设计的光刻机运动系统,是利用了杠杆原理来实现的。 毕竟现在这台机器还是几乎是纯手动,赵烨利用精密的丝杆,再带精密齿轮组,把底座的运动距离,放大了很多倍,这样才能实现光刻机外面设置的手轮, 转动一圈,底座按照设计位移两微米。这几乎是这个时代的极限了。 这样的手轮在光刻机的操作台上有七个,分别控制底座不同的运动路径。等到这套系统被安装完毕后,几个专家立即就进行测试。测试的工作比安装还要慢,等测试的工作完成后,整个地下室都响起了热烈的掌声。 “太不可思议了,太伟大了!这简直就是奇迹!”负责测量的人员,都猛烈的拍着巴掌,对这些高级技工, 报以热烈的掌声。 这些精密加工,都是赵烨这几个人,一点点的用手完成的。最后的移动精度,震惊了精密测量专业的专家。 要实现如此精密的位移,这一点儿都不简单。 掌声停止了,工作照常进行。 一些测量用的设备,一些被拆除了,还有一些被保留了下来。然后就轮到透镜组进行安装了。 赵烨还有几个过来支援的高级钳工,一步步,一点点的把整套系统安装完毕,整整用了一个星期,第一台设备才算是正式诞生并通过了检测。 众人无不激动的掉泪,这几乎就是国家精密仪器的代表之作!在此时此刻,它甚至可以说是全世界最精密的仪器之一都毫不过分。 众人激动过后,就是合影留念。唯一还没有露出笑容的, 只有一个泉教授。 “泉教授, 明天就是试生产了, 成败可就看你的灯泡了!”没等赵烨上前说话,慈教授就已经拉着泉教授说了这么一句话。搞的泉教授更加紧张了几分。 “争取一次通过,争取!”泉教授可不敢把话说的太满,说实话,他是真的心里没底的。 赵烨一见对方这么说,也就没有过去再说什么,人家已经这么紧张了,自己就不去给人施加压力了。 这个时候,无论你说什么安慰话,反馈到对方脑子里的,都是无形的压力。 赵烨从地下车间走出了,就去看硅锭的处理了。 此时的硅锭,已经从一开始的30mm直径,扩大到了50mm左右了。生产这个硅锭的是沪上一家工厂。他们在赵烨提供的一些资料的帮助下,成功做出了这种规格的硅锭。硅锭的纯净度虽然还有待提升,但是至少是能用的了,无非良品率低一些。 不过有赵烨这个bug在,少量的硅锭他还是能处理的。 第(1/3)页