第(1/3)页 整机被江成整饬得非常不错,一些小问题,都解决了,就是外观,也有封装板,整的有点像高科技光刻机一样了。 就是那种一看,就觉得这东西高端,不是随随便便整出来的。 当然,实验的结果也非常不错,在江成带领大伙继续优化调整,特别是把每一个步骤应当以什么速率,运行多少时间等工艺进行优化后,总体光刻成效是不错的。 而且通过实验性质的一次多重曝光,最终工艺最小节点达到了32nm。 白春华是华科院院长,对这一块还是有了解的,在亲自查看了测量参数后,双手激动的不得了,“是真的,我们的光刻机真的突破了,28nm的工艺,就在眼前!” 通过浸没系统,把193nm的激光波长整到了132nm,一次曝光就可以达到最小工艺45nm! 在经过多重曝光技术,就可以挺进32nm,28nm的制程。 易国彬也是抬着大拇指给了江成,“我就知道,你小子入主魔都微,一定能够给我们一个惊喜的,没想到这么快就看到了!” 一旁的贺明老脸一红,“易部长,您说得对,江董在光刻机领域的研究,真的是华国独一人,这一块,我是极为敬佩的!” 易国彬点点头,“行了,知道你这一次没给研发添乱,今后还是好好配合好江董吧。” “明白的。”贺明应了声。 现如今,江成整出了浸没式光刻机,他在魔都微的地位更加牢固了。 那些股东们,怎么可能会把江成换掉? 唉,算了,做个执行者也是不错的。 江成微微笑着,“这里还是太压抑了,白院长、易部长,咱们回会议室吧。” “嗯。”两人带着笑容点点头。 随后,又和这些研发工程师们一一握手,表达了感谢。 这才一同换去了实验服,到了魔都微的董事会会议室。 “江董,现在来看,达到28nm的工艺,难不难?”易国彬先问了一句,他毕竟不是专业的,虽然了解一些,但目前看到的是实现了32nm工艺。 江成解释道,“从45nm工艺到28nm,需要fab工厂工程师这边共同提升工艺水平,通过多重曝光的技术来实现。这个技术,实现难度不大。” “那就好。”易国彬有些放心了。“现如今,互联网上已经传开了,咱们研发出来了28nm的国产光刻机,广大网民翘首以盼,我们不能让他们失望啊!” 第(1/3)页