第(1/3)页 “热退火破裂?!” 听到消息的刘兴东,立马就站了起来,“这怎么可能!我们这边所有的检测都达标了啊!?” “可这就是事实,不止是中芯这边,华鸿、立昂微、苏大微电子研究院那边,也全都出现了这个问题,没有一片刻成了晶圆。” “我们现在基本可以肯定,这项技术存在严重的技术缺陷,只不过我们暂时也找不出原因……” “如果你不相信,可以找申城硅产业做进一步的验证,我们这边的相关实验数据,也会安排人给你们送过去。” “……” 挂完电话后,刘兴东整个人都还是懵的。 正常来说,从硅片变成晶圆,需要经过湿洗、光刻、离子注入、干蚀刻、湿蚀刻、等离子冲洗…… 然后就是这次硅片出问题的环节:热处理! 而热处理,又分为快速热退火和退火。 快速热退火,就是使用大功率照射灯,把刻好的晶圆,瞬间照射到1200摄氏度,然后让它慢慢冷却。 这么做的目的,是为了使之前注入的离子,能更好的被启动以及热氧化。 硅信科技这次造出来的12寸硅片,就是在冷却的过程中,出现了材质破裂! 这相当于房子都快建好了,结果地基开裂…… 简直是毁灭性的灾难! 刘兴东立即召集了技术团队,让他们赶紧做进一步的验证,还想着看能不能尽快解决这个技术缺陷。 此时的他,还完全没有意识到,这其实是康驰送给他的大礼。 主要是康驰的这份大礼,实在是太真了…… 其实胡文均在拿到图纸的时候,也最多信了五成,剩下的五成,则是假设他们已经被暴露了,康驰给他们的,要么是假的,要么是有问题的。 但无论它是什么,收集到的重要情报,总得上报吧? 而刘兴东在收到情报后,肯定得验证一下情报的真实性吧? 然后这一验证,就直接上套了。 因为康驰送出的大礼,杀机藏得太深了,连吴院士在审查的时候,也只是隐约感到哪里不对劲,没能发现真正的问题所在。 然后,既然实际验证都成功了,各种常规检测也都没问题,刘兴东还能有啥顾虑的? 当然是抢先公布成果了。 难道还要藏着掖着,等大汉硅业完成实验验证吗? 所以至始至终,这都不是双方智商的较量,而是来自技术层面的碾压! 他们发现不了问题,那只能说是技不如人。 这甚至可以说是阳谋。 康驰从一开始,就根本不怕他们怀疑, 只要他没真正摊牌,哪怕他们对康驰的信任度只有0.1%,也肯定会忍不住吞下这枚肥美的诱饵。 从刘兴东派出商业间谍,露出资本家贪婪的那刻起,结局就已经注定了。 随着事情的发酵,所有与此事相关的新闻也都悄悄地被媒体紧急撤回, 第(1/3)页