第(2/3)页 虽然5.9显然是远远不达标的,但严辉却似乎意识到了什么,有些惊讶地转头看向康驰。 “你……计算好的?” “算是吧。” 康驰点了点头。 这下严辉彻底呆住了, 要知道,化学机械抛光的技术难点,除了抛光设备的硬件要达标之外,还要根据设备性能、硅片参数,来调配化学抛光液,以达到化学抛光和机械抛光的完美配合。 要想调试得好,首先就需要对设备了如指掌,其次这是丰富的抛光液调配经验。 但康驰仅仅只是通过一次实验演示,就能看似轻松地报出两组不同成分的抛光液,并在后续的实验中,达到同一数值的平整度…… 这多少有点匪夷所思了吧? 哪怕是已经参与过无数次测试的严辉,在没有经过计算机模拟的情况下,也绝对做不到如此精准的控制, 估计误差至少得有个0.3nm rms。 他有些难以置信地问道:“你到底是怎么做到的?” “嗯,我也说不上来……可能是某种直觉吧,我这人对机械的东西,敏感度还挺高的。” 康驰思索了片刻,又接着说道, “我估计伱这台抛光机,能稳定发挥的正常水平,应该就是3.0nm rms左右,2.6nm rms只是你们因为偶然因素才意外达到的,肯定不会超过三次。” 严辉再次愣了愣,显然是被康驰猜中了。 “确实,只有一次……” 康驰本来还想说点什么,结果肚子都已经饿得咕咕叫了, 看了看时间,发现三轮实验过后,竟然已经不知不觉都到了晚上八点。 “不好意思,一个没注意都这这么晚了……大家赶紧收拾收拾,先去吃饭吧,今天辛苦你们了。” “嗯。”严辉点了点头道,“那大家吃完饭,九点再回来继续。” “回来继续?”康驰不由露出了奇怪的表情,“继续干嘛?” “做实验啊。” “没用的,这根本不是抛光液的比例问题,你们这是在做无用功。”康驰直接摇头道,“吃完饭早点回家洗洗睡吧,明天我们再过来把抛光机拆了,如果我没猜错的话,是你们的设备安装有问题。” 听到康驰竟然已经猜到问题所在,严辉顿时有些激动:“不用等明天,我们现在就可以把它抬出去拆给你看!” 康驰白了严辉一眼:“我饿了,也累了。” “……” 严辉不由尬住了。 第(2/3)页